六、电子能谱分析：元素分布的“彩色地图” （一）定点分析：微区元素的“身份证” 在表面选定区域作定点扫描，记录X射线强度随波长λ的变化曲线，将谱线强度峰值所对应的波长与标准波长比较，就能像读取”身份证”一样获知微区内所含元素的定性结果，还可对所含元素的质量分数进行定量分析。 （二）线扫描分析：元素分布的“一维地图” 入射电子束在样品表面沿选定直线扫描，就像是沿着一条路线进行勘探，检测某元素不同位置的特征X射线信号强度，获得该元素分布均匀性的信息，就像是绘制元素分布的”一维地图”。 （三）面扫描：元素分布的“彩色画卷” 电子束在样品表面作光栅式面扫描，以特定元素X射线的信号强度调制荧光屏亮度，获得该元素质量分数分布的扫描图像，就像是绘制元素分布的“彩色地图”，直观展示元素在样品表面的分布情况。

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电子能谱分析，简称EPMA，是一种重要的微区分析技术。它利用高能电子束轰击样品表面，激发出特征X射线，通过分析这些X射线的波长和强度，可以准确识别元素种类并测定其含量分布。这项技术为我们提供了观察元素分布的彩色地图。 定点分析是电子能谱分析的基本模式。在样品表面选定一个微小区域进行定点扫描，记录X射线强度随波长的变化曲线。通过将谱线强度峰值对应的波长与标准波长数据库比较，就能像读取身份证一样，准确识别该微区内包含的元素种类，还可以进行定量分析。 线扫描分析是电子束在样品表面沿选定直线进行扫描，就像沿着一条路线进行勘探。在扫描过程中，检测某种元素在不同位置的特征X射线信号强度，从而获得该元素沿扫描线方向分布均匀性的信息，绘制出元素分布的一维地图。 面扫描是最直观的分析模式。电子束在样品表面进行光栅式面扫描，以特定元素X射线的信号强度来调制荧光屏的亮度，从而获得该元素质量分数分布的扫描图像。这种方法能够绘制出元素分布的彩色画卷，直观展示元素在样品表面的二维分布情况。 定点分析是电子能谱分析的基本模式。在样品表面选定一个微小区域进行定点扫描，记录X射线强度随波长的变化曲线。通过将谱线强度峰值对应的波长与标准波长数据库比较，就能像读取身份证一样，准确识别该微区内包含的元素种类，还可以进行定量分析。 线扫描分析是电子束在样品表面沿选定直线进行扫描，就像沿着一条路线进行勘探。在扫描过程中，检测某种元素在不同位置的特征X射线信号强度，从而获得该元素沿扫描线方向分布均匀性的信息，绘制出元素分布的一维地图。 面扫描是最直观的分析模式。电子束在样品表面进行光栅式面扫描，以特定元素X射线的信号强度来调制荧光屏的亮度，从而获得该元素质量分数分布的扫描图像。这种方法能够绘制出元素分布的彩色画卷，直观展示元素在样品表面的二维分布情况。 电子能谱分析通过三种不同的分析模式，为我们提供了全面的元素分析能力。定点分析能够精确识别微区的元素成分，线扫描获得元素分布的一维信息，而面扫描则能绘制出元素分布的二维彩色地图。这些技术相互补充，为材料科学、地质学、生物学等领域的研究提供了强有力的分析工具。